洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室是指空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的制作和运用应削减室内诱入、发生及停留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求做操控。

  洁净区（Clean Zone）是指空气悬浮粒子浓度受控的限制区间。它的制作和运用应削减室内诱入、发生及停留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求做操控。洁净区可所以开放式或封闭式。

  悬浮粒子（Airborne Particle）是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺度范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

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